低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率、极限压力的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面、离子注入机和空间模拟装置等方面。
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低温泵使用标准:
(1)低温泵在获取洁净和无油真空方面,具有其他产品无法相比的优势。它可以作为研究其他真空泵对真空污染程度的标准;
(2)低温泵在抽除水蒸汽和其他潮湿混合气方有较大抽速;
(3)低温泵在抽取轻重量分子方面也具有较大抽速;
(4)在要求大抽速的真空设备中,低温泵是经济的。商品化的低温泵可以在很小的口径下提供大的抽速
(5)低温泵是基于低温吸附而工作的,不需要其他电子材料,不会有波动;
(6)在真空中无任何运动部件,高稳定性,也不会带来密封问题;
(7)低温泵的安装无任何方向要求;
(8)低温泵还可以进行选择性的抽取某种气体。
耐大气老化性,耐辐照性能和较低的渗透性:长期暴露于大气中,表面及性能保持不变。