一般说来,泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120K时,水的蒸气压已低于 帕。温度为20K时,除氦、氖和氢外,其他气体的蒸气压也低于 帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同,泵的极限压力**冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器,低温板为20K时,泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。
因此,低温泵需要通过吸附材料来帮助其抽除气体。另外,吸附材料在低温下比无吸附材料的泠凝吸附可以得到更低的平衡压力。低温泵的工作方式是通过表面吸附而进行的,表面积越大对低温泵的工作性能越有利。因此,合适的吸附材料必须具有较大的比表面和吸附容量。对吸附材料进行表征的物理量主要有:几何形状和颗粒大小分布;表面结构;密度;比表面积;孔径分布、孔容和平均孔径大小等。研究低温泵的吸附材料主要是通过以上参数的表征而进行的。
吸附材料对低温泵的工作性能具有较大的影响。单从真空获得方面来说,一台无任何吸附剂的低温泵或许也可以满足要求。但是,一般情况下低温泵是依靠液氦或制冷机而获得低温的,其温度能达到4 K。而此时又需要低温泵抽除氦气,因为真空检漏会经常用到氦气。
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